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デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構
デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構
紙
図書
篠崎, 和夫, 東京工業大学
1999-2000
<Y151-H11450242>
国立国会図書館
件名
デジタル制御MOCVD バツフアー層 組成傾斜膜 残留応力 Pb (Zr, Ti) O3 (PZT) PbTiO3 PbZrO3
Nb-SrTiO3
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