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- 件名レーザアブレーション 薄膜堆積機構 チタン酸ジルコン酸鉛(PZT) Pb欠損 蒸発モデル スパッタモデル 窒化チタンアルミ(TiAlN)...
- 一般注記...で作製されたPZT薄膜で生じるPb欠損は、スパッタモデルでも蒸発モデ......で高い希ガス雰囲気圧力で生じるPb欠損は蒸発モデルでのみ説明される。......で真空中で作製されたPZTでのPb欠損は、基板上で中央付近で顕著というプルームに対して横方向の不均...
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