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ガラス基板表面の核形成点制御による大粒径多結晶薄膜形成法の開発
ガラス基板表面の核形成点制御による大粒径多結晶薄膜形成法の開発
紙
図書
安武潔, 大阪大学 [著]
[安武潔]
2004-2006
<Y151-H16360070>
国立国会図書館
件名
多結晶
Si薄膜
/ 大粒径 / ガラス基板 / Ge微結晶 / 結晶核 /...
高周波スパツタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜
高周波スパツタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜
紙
図書
芳井, 熊安, 大阪大学
1995-1996
<Y151-H07455065>
国立国会図書館
件名
Si薄膜
多結晶 低温成膜 高周波スパツタ蒸着法
種結晶層を用いた低温結晶化シリコン薄膜の粒径制御
種結晶層を用いた低温結晶化シリコン薄膜の粒径制御
デジタル
文書・図像類
堀田, 將
2012-05-07
科学研究費補助金研究成果報告書
p.1-5
全国の図書館
件名
低温結晶化
Si薄膜
YSZ薄膜 薄膜トランジスタ 固相成長 低温プロセス 多結...
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