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4族半導体原子層積層ヘテロ人工結晶の創成
4族半導体原子層積層ヘテロ人工結晶の創成
紙
図書
室田淳一, 東北大学 [著]
[室田淳一]
2003-2005
<Y151-H15206031>
国立国会図書館
件名
IV族半導体 / ヘテロ構造 / 原子層積層 / 人工結晶 / CVD / エピタキシャル成長 /
SiGeC
/ 立体加工
超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成
超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成
紙
図書
室田淳一, 東北大学 [著]
[室田淳一]
2001-2003
<Y151-H13355013>
国立国会図書館
件名
IV族半導体 / 不純物ドーピング / 原子層 / 金属/半導体接触抵抗 / CVD /
SiGeC
/ P / B
高集積通信システム製作のためのSiGe系MOS-HBT技術の開発
高集積通信システム製作のためのSiGe系MOS-HBT技術の開発
紙
図書
室田, 淳一, 東北大学
1999-2001
<Y151-H11694123>
国立国会図書館
件名
SiGe MOS HBT CVD低温選択成長 in-situ不純物ドーピング
SiGeC
不純物拡散 高選択異方性エツチング
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