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通信用共振素子の格段の高周波化を可能にする新しい圧電薄膜共振デバイスの研究

通信用共振素子の格段の高周波化を可能にする新しい圧電薄膜共振デバイスの研究
紙図書
中村, 僖良, 東北大学1999-2000<Y151-H11305025>
国立国会図書館
  • 件名圧電共振子 音響多層膜 ZnO薄膜 LiTaO3結晶 MBE

微粒子型マイクロ圧力センサーの基盤研究及び加工プロセス研究への実用化

微粒子型マイクロ圧力センサーの基盤研究及び加工プロセス研究への実用化
紙図書
小寺, 秀俊, 京都大学1995-1997<Y151-H07650306>
国立国会図書館
  • 件名圧力センサー マイクロマシン 圧電 ダイヤモンド薄膜 ZnO薄膜

高結合横波弾性表面波を利用したWDM光通信用波長可変光フイルタの開発

高結合横波弾性表面波を利用したWDM光通信用波長可変光フイルタの開発
紙図書
中村, 僖良, 東北大学1998-1999<Y151-H10555109>
国立国会図書館
  • 件名SH型弾性表面波 KNbO3結晶 WDM光通信用波長可変フイルタ Y-X LiNbO3結晶 ZnO薄膜 光導波路 音響光学効果 Ti拡散

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