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マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究

マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究
紙図書
平山, 昌樹, 東北大学1998-1999<Y151-H10450111>
国立国会図書館

マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究

マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究
紙図書
平山昌樹研究代表者[平山昌樹]2000.3
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科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
紙図書
[発行者不定]
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