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液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミユレ-タの開発
液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミユレ-タの開発
紙
図書
奥山, 喜久夫, 広島大学
2000-2002
<Y151-H12450319>
国立国会図書館
液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミュレータの開発
液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミュレータの開発
紙
図書
研究代表者 奥山喜久夫
広島大学大学院工学研究科
2003.3
全国の図書館
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
紙
図書
[発行者不定]
全国の図書館
関連情報
...物質のスクリーニング系の開発
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