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デジタル博士論文障害者向け資料あり
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- 件名プラズマ ホローカソード 電子ビーム 電子銃 プラズマウィンドウ Plasma Hollow c...
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- 件名接合・接着・溶接 球状黒鉛鋳鉄 軟鋼 電子ビーム溶接 機械的性質 Joining・Bonding・Weldi...
紙図書
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- 目次・記事第1章 マスクレス露光と電子ビーム描画・転写 第2章 並列電子ビーム描画の課題 第3章 並列電子ビーム描画装置用電子源 第4章 超並列電子ビーム描画(MPEBW) 第5章 応用と今後の課題
- 要約等並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。
- 典拠情報(件名/「を見よ」参照)電子線 超小型回路 電子ビーム Electron beams IC Integrated ...