「"電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析"」の検索結果 | NDLサーチ

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紙図書

長谷川, 誠一, 金沢大学1993-1994<Y151-H05650009>

国立国会図書館

デジタル文書・図像類

長谷川, 誠一, Hasegawa, Seiichi1996-04-14平成6(1994)年度科学研究費補助金一般研究(C) 研究成果報告書概要 = 1994 Fiscal Year Final Research Report Summary1993 – 1994p.2p.-

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一般注記...– 1994 出典：研究課題「電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析」課題番号05650009（KAKEN：科学研究費助成事業デ...

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研究代表者長谷川誠一[長谷川誠一]1995.3

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