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Development of Bipolar Electrostatic Chuck with a Beam-Array Assembly Fabricated by Lithography
Development of Bipolar Electrostatic Chuck with a Beam-Array Assembly Fabricated by Lithography
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田岡, 祐樹, Taoka, Yuki, 河鰭, 康平, Kawabata, Kohei, HEMTHAVY, PASOMPHONE, 崔, 勝萬, CHOI, SEUNGMAN, 高橋, 邦夫, TAKAHASHI, KUNIO, 齋藤, 滋規, SAITO, Shigeki
2022-07
International Journal of Automation Technology
16 No. 4
p.471-477
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