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III-Nitride ion implantation and device processing
SAND-96-1407C DE96 011840 CONF-96050216
III-Nitride ion implantation and device processing SAND-96-1407C DE96 011840 CONF-96050216
マイクロ
規格・テクニカルリポート類
Zolper, J. C, Shul, R. J, Baca, A. G, Pearton, S. J, Abernathy, C. R
1996
<LS-DE96/011840>
国立国会図書館
III-NITRIDE ION IMPLANTATION AND DEVICE PROCESSING
(SAND ; SAND-96-1407C)
III-NITRIDE ION IMPLANTATION AND DEVICE PROCESSING (SAND ; SAND-96-1407C)
紙
図書
ZOLPER, J.C.// SHUL, R.J.// BACA, A.G.// PEARTON, S.J.// ABERNATHY, C.R.// WILSON, R.G.// STALL, R.A.// SHUR, M. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
1996.
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