検索結果 3 件
紙図書
国立国会図書館
- 件名有機シリコン リモートプラズマ シリコンカーバイド薄膜 ヘキサメチルジシラン SiN薄膜 水素ラジカル反応 プラズマCVD 表面波プラズ...
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- 件名有機シリコン リモートプラズマ シリコンカーバイド薄膜 ヘキサメチルジシラン SiO2薄膜 水素ラジカル反応 プラズマCVD TEOS
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- 件名真空紫外光分解 光誘起電子移動 有機14族元素化合物 光分解 ヘキサメチルジシラン ヘキサメチルジゲルマン 質量スペクトル トリフルオロメチル...
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