検索結果 52 件
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- 件名マイクロマシニング / フォトニック結晶 / マイクロアクチュエータ / フィルタ / 光スイッチ / シリコン
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- 件名アクチュエータ / 超音波モータ / 圧電 / 弾性表面波 / MEMS / マイクロアクチュエータ / 超音波 / レイリー波
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- 件名超音波 / 超音波モータ / 超音波アクチュエータ / 圧電アクチュエータ / 多自由度 / 圧電素子 / マイクロアクチュエータ / アレイ
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- 件名Ti-Ni / 形状記憶合金 / マイクロアクチュエータ / スパッタ薄膜 / マルテンサイト変態 / Ni-Ti ...
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- 件名3次元マイクロファブリケーション / 微小粒子 / マイクロアレイ / 粒子接合 / 通電焼結 / 微小構造体 / マイクロアクチュエーター
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- 件名PZT薄膜 / ゾル-ゲル法 / レーザーアブレーション / ハイブリッドプロセス / テンプレート層 / 結晶配向性 / 圧電特性 / マイクロアクチュエーター