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超精密加工機
の動特性の解析と評価に関する研究
超精密加工機の動特性の解析と評価に関する研究
デジタル
博士論文
障害者向け資料あり
甲斐, 義章
京都大学 (Kyoto University)
2015-11-24
インターネットで読める
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件名
超精密加工機
転がり案内 振動 摩擦 除振装置
Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御
超精密加工機
の開発
Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発
紙
図書
森脇, 俊道, 神戸大学
1994-
<Y151-H06555039>
国立国会図書館
件名
Walking Drive
超精密加工機
圧電素子 精密送りテーブル 超精密位置決め ナノテクノロジ...
超精密加工機
用静圧エアスピンドルの開発
超精密加工機用静圧エアスピンドルの開発
紙
図書
小野, 京右, 東京工業大学
1994-1996
<Y151-H06555044>
国立国会図書館
件名
静圧空気軸受
超精密加工機
用エアスピンドル 動剛性最大設計 高減衰設計 円周・格子溝軸...
ワークと工具間の6自由度相対運動計測と補正フィードバックによる超精密機械システム
ワークと工具間の6自由度相対運動計測と補正フィードバックによる超精密機械システム
デジタル
文書・図像類
大岩, 孝彰
静岡大学
2015-06-10
全国の図書館
件名
精密機械システム 6自由度運動誤差補正 パラレルメカニズム 工作機械
超精密加工機
三次元座標測定機 超精密機械システム
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