医療用ダイアモンド状炭素(DLC)成膜に最適な大電力パルスマグネトロンスパッタ(HiPIMS)用パルス電源の開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 黒岩 雅英中谷 達行
- 並列タイトル等
- Development of Pulse Power Supplies as High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) Equipment Components for Medical Diamond Like Carbon (DLC) Film Fabrication Processes
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 60(9):2017.9
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 9
- 掲載ページ
- 372-375