Cluster size dependence of SiO2 thin film formation by O2 gas cluster ion beams

掲載誌名: 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 2009年度

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資料種別: 記事
タイトル: Cluster size dependence of SiO2 thin film formation by O2 gas cluster ion beams
著者・編者: 間下喬史
豊田紀章
山田公
著者標目: 間下喬史
豊田紀章
山田公
タイトル（掲載誌）: 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo
巻号年月日等（掲載誌）: 2009年度
掲載巻: 2009年度
掲載ページ: 50～53
掲載年月日（W3CDTF）: 2009
出版事項（掲載誌）: 姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
件名標目: Gas cluster ion beam
Cluster size
Thin film
NDLC: ZP5
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z74-E130
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 10917851
http://id.ndl.go.jp/bib/10917851
整理区分コード: 632