磁界圧着形マグネトロンスパッタ法によるa-Si薄膜の作成と特性

国立国会図書館請求記号: Z16-607
国立国会図書館書誌ID: 3104984

資料種別: 記事

著者: 畑朋延他

出版者: 東京 : 電子通信学会

出版年: 1986-10

資料形態: デジタル

掲載誌名: 電子通信学会論文誌. C = The Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan / 電子通信学会編 69(10) 1986.10

掲載ページ: p.p1239～1247

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 磁界圧着形マグネトロンスパッタ法によるa-Si薄膜の作成と特性
著者・編者: 畑朋延他
著者標目: 畑朋延
タイトル（掲載誌）: 電子通信学会論文誌. C = The Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan / 電子通信学会編
巻号年月日等（掲載誌）: 69(10) 1986.10
掲載巻: 69
掲載号: 10
掲載ページ: p1239～1247
掲載年月日（W3CDTF）: 1986-10
ISSN（掲載誌）: 0373-6113
ISSN-L（掲載誌）: 0373-6113
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子通信学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
記事種別、記事分類: 記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-607
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/2286274
https://dl.ndl.go.jp/pid/2286274
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 3104984
http://id.ndl.go.jp/bib/3104984
整理区分コード: 632