Variation of Stress and Hardness of a-Sic:H Films with Film Composition

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資料種別: 記事
タイトル: Variation of Stress and Hardness of a-Sic:H Films with Film Composition
著者・編者: Sunil Wickramanayaka
Ken Kitamura
Yoichiro Nakanishi 他
著者標目: Sunil Wickramanayaka
Ken Kitamura
Yoichiro Nakanishi
タイトル（掲載誌）: 静岡大学電子工学研究所研究報告
巻号年月日等（掲載誌）: 30(2) 1995
掲載巻: 30
掲載号: 2
掲載ページ: 119～122
掲載年月日（W3CDTF）: 1995
ISSN（掲載誌）: 0286-3383
ISSN-L（掲載誌）: 0286-3383
出版事項（掲載誌）: 浜松 : 静岡大学電子工学研究所
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-297
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 3953969
http://id.ndl.go.jp/bib/3953969
整理区分コード: 632