Static capacitance contrast of LSI covered with an insulator film in low accelerating voltage scanning electron microscope

出版者: Oxford : Published for the Japanese Society of Electron Microscopy by Oxford University Press

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資料種別: 記事
タイトル: Static capacitance contrast of LSI covered with an insulator film in low accelerating voltage scanning electron microscope
著者・編者: Katsumi Ura
Sadao Aoyagi
著者標目: Katsumi Ura
Sadao Aoyagi
タイトル（掲載誌）: Journal of electron microscopy
巻号年月日等（掲載誌）: 49(1) 2000
掲載巻: 49
掲載号: 1
掲載ページ: 157～162
掲載年月日（W3CDTF）: 2000
ISSN（掲載誌）: 0022-0744
出版事項（掲載誌）: Oxford : Published for the Japanese Society of Electron Microscopy by Oxford University Press
出版地（国名コード）: GB
本文の言語コード: eng
件名標目: re-distribution of secondary electrons
passivated LSI
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z53-T76
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 5315963
http://id.ndl.go.jp/bib/5315963
整理区分コード: 632