Sputtering & plasma processes

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: Sputtering & plasma processes
• 著者標目: 日本工業技術振興協会 ニホン コウギョウ ギジュツ シンコウ キョウカイ ( 00294091 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本工業技術振興協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会
• 出版年月日等: [1986]-
• 出版年（W3CDTF）: 1986
• 刊行状態: 不明
• 刊行巻次・年月次: [Vol.1,no.1]-
• 数量: 冊
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM35
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: Vol.8,no.1(1993年1月18日)-v.11,no.5(1996年12月11日)
• 請求記号: Z74-B170
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000103247; http://id.ndl.go.jp/bib/000000103247
• 全国書誌番号: 00109110
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則
• 整理区分コード: 131