Sputtering & plasma processes

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: Sputtering & plasma processes
• 巻次・部編番号: 10巻1号-11巻5号 1995年3月-1996年12月
• 著者標目: 日本工業技術振興協会 ニホン コウギョウ ギジュツ シンコウ キョウカイ ( 00294091 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本工業技術振興協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995-1996
• 刊行巻次・年月次: [Vol.1,no.1]-
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM35
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-B170
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000103247; http://id.ndl.go.jp/bib/000000103247
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則