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Volume number10巻1号-11巻5号 1995年3月-1996年12月

Sputtering & plasma processes 10巻1号-11巻5号 1995年3月-1996年12月

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Sputtering & plasma processes

10巻1号-11巻5号 1995年3月-1996年12月

Call No. (NDL)
Z74-B170
Bibliographic ID of National Diet Library
000000103247
Material type
雑誌
Publisher
日本工業技術振興協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会
Publication date
1995-1996
Publication Frequency
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
26cm
NDC
-
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Volume Range:

[Vol.1,no.1]-

Note (General):

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Paper

Material Type
雑誌
Volume
10巻1号-11巻5号 1995年3月-1996年12月
Author Heading
日本工業技術振興協会 ニホン コウギョウ ギジュツ シンコウ キョウカイ ( 00294091 )Authorities
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995-1996
Year and volume of publication
[Vol.1,no.1]-
Size
26cm
Place of Publication (Country Code)
JP