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雑誌

Sputtering & plasma processes

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Sputtering & plasma processes

Call No. (NDL)
Z74-B170
Bibliographic ID of National Diet Library
000000103247
Material type
雑誌
Publisher
日本工業技術振興協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会
Publication date
[1986]-
Publication Frequency
-
Material Format
Paper
Publication
不明
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Notes on use

Holding issue:

Vol.8,no.1(1993年1月18日)-v.11,no.5(1996年12月11日)

Volume Range:

[Vol.1,no.1]-

Note (General):

本タイトル等は最新号による

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
雑誌
Author Heading
日本工業技術振興協会 ニホン コウギョウ ギジュツ シンコウ キョウカイ ( 00294091 )Authorities
Publication Date
[1986]-
Publication Date (W3CDTF)
1986
Publication status
不明
Year and volume of publication
[Vol.1,no.1]-
Extent
Size
26cm