第2章 プラズマ装置の真空工学(<講座> プラズマ装置の真空工学 : 排気技術I)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 第2章 プラズマ装置の真空工学(<講座> プラズマ装置の真空工学 : 排気技術I)
• 著者・編者: 広畑,優子; 日野,友明
• 出版事項: 日本 : プラズマ・核融合学会
• 出版年月日等: 1995-07-25
• 出版年（W3CDTF）: 1995-07-25
• 並列タイトル等: Vacuum Technologies of Plasma Devices(<Lecture Note> Vacuum Technology in Plasma Device I)
• タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 71(7)
• 掲載巻: 71(7)
• 掲載ページ: 577-587
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: HIROHATA,Yuko; HINO,Tomoaki
• 件名標目: fusion device; plasma CVD device; sputtering device; vacuum pump; vacuum gauge; gas desorption; effective surface area
• 一般注記: 著者所属: 北海道大学工学部; Affiliation: Faculty of Engineering,Hokkaido University
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10452090; https://dl.ndl.go.jp/pid/10452090
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10388791; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388791
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: Vacuum pumping systems, vacuum gauges and vacuum state with different degrees are reviewed. In addition, typical pumping systems and vacuum gauges use...