第2章 プラズマ装置の真空工学(<講座> プラズマ装置の真空工学 : 排気技術I)

• Material Type: 記事
• Title: 第2章 プラズマ装置の真空工学(<講座> プラズマ装置の真空工学 : 排気技術I)
• Author/Editor: 広畑,優子; 日野,友明
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : プラズマ・核融合学会
• Publication Date: 1995-07-25
• Publication Date (W3CDTF): 1995-07-25
• Alternative Title: Vacuum Technologies of Plasma Devices(<Lecture Note> Vacuum Technology in Plasma Device I)
• Periodical title: プラズマ・核融合学会誌
• No. or year of volume/issue: 71(7)
• Volume: 71(7)
• Pages: 577-587
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: HIROHATA,Yuko; HINO,Tomoaki
• Subject Heading: fusion device; plasma CVD device; sputtering device; vacuum pump; vacuum gauge; gas desorption; effective surface area
• Note (General): 著者所属: 北海道大学工学部; Affiliation: Faculty of Engineering,Hokkaido University
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10452090; https://dl.ndl.go.jp/pid/10452090
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-23
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10388791; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388791
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: Vacuum pumping systems, vacuum gauges and vacuum state with different degrees are reviewed. In addition, typical pumping systems and vacuum gauges use...