1. はじめに : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10453665

資料種別: 記事

著者: 橘,邦英

出版者: プラズマ・核融合学会

出版年: 1999-07-25

資料形態: デジタル

掲載誌名: プラズマ・核融合学会誌 75(7)

掲載ページ: p.777-778

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資料に関する注記

一般注記：: 著者所属: 京都大学大学院工学研究科Affiliation: Graduate School of Engineering, Kyoto University

書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 1. はじめに : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
著者・編者: 橘,邦英
出版事項: 日本 : プラズマ・核融合学会
出版年月日等: 1999-07-25
出版年（W3CDTF）: 1999-07-25
並列タイトル等: 1.Introduction : Developments of Basic Researches on Fluorocarbon Plasmas for Material Processing
タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌
巻号年月日等（掲載誌）: 75(7)
掲載巻: 75(7)
掲載ページ: 777-778
本文の言語コード: JPN
著者別名: TACHIBANA,Kunihide
一般注記: 著者所属: 京都大学大学院工学研究科
Affiliation: Graduate School of Engineering, Kyoto University
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10453665
https://dl.ndl.go.jp/pid/10453665
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
収集根拠: NII-ELS
公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10388839
https://dl.ndl.go.jp/pid/10388839
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp