1. はじめに : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10453665

Material type: 記事

Author: 橘,邦英

Publisher: プラズマ・核融合学会

Publication date: 1999-07-25

Material Format: Digital

Journal name: プラズマ・核融合学会誌 75(7)

Publication Page: p.777-778

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Note (General)：: 著者所属: 京都大学大学院工学研究科Affiliation: Graduate School of Engineering, Kyoto University

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Digital

Material Type: 記事
Title: 1. はじめに : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
Author/Editor: 橘,邦英
Publication, Distribution, etc.: 日本 : プラズマ・核融合学会
Publication Date: 1999-07-25
Publication Date (W3CDTF): 1999-07-25
Alternative Title: 1.Introduction : Developments of Basic Researches on Fluorocarbon Plasmas for Material Processing
Periodical title: プラズマ・核融合学会誌
No. or year of volume/issue: 75(7)
Volume: 75(7)
Pages: 777-778
Text Language Code: JPN
Alias of Author: TACHIBANA,Kunihide
Note (General): 著者所属: 京都大学大学院工学研究科
Affiliation: Graduate School of Engineering, Kyoto University
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10453665
https://dl.ndl.go.jp/pid/10453665
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
Acquisition Basis: NII-ELS
Available (W3CDTF): 2017-08-23
Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10388839
https://dl.ndl.go.jp/pid/10388839
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp