2. 気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展

• 資料種別: 記事
• タイトル: 2. 気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
• 著者・編者: 豊田,浩孝; 菅井,秀郎
• 出版事項: 日本 : プラズマ・核融合学会
• 出版年月日等: 1999-07-25
• 出版年（W3CDTF）: 1999-07-25
• 並列タイトル等: Beam Experiments on Radical Production in Gas Phase and on Solid Surfaces : Developments of Basic Researches on Fluorocarbon Plasmas for Material Processing
• タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 75(7)
• 掲載巻: 75(7)
• 掲載ページ: 779-784
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: TOYODA,Hirotaka; SUGAI,Hideo
• 件名標目: fluorocarbon gas; dissociative ionization cross section; radical production cross section; surface reaction
• 一般注記: 著者所属: 名古屋大学大学院工学研究科; Affiliation: Graduate School of Engineering, Nagoya University
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10453666; https://dl.ndl.go.jp/pid/10453666
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10388839; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388839
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: Cross sections of electron-impact dissociative ionization and neutral radical production from fluorocarbon molecules or neutral radicals are reviewed....