2. 気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展

• Material Type: 記事
• Title: 2. 気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
• Author/Editor: 豊田,浩孝; 菅井,秀郎
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : プラズマ・核融合学会
• Publication Date: 1999-07-25
• Publication Date (W3CDTF): 1999-07-25
• Alternative Title: Beam Experiments on Radical Production in Gas Phase and on Solid Surfaces : Developments of Basic Researches on Fluorocarbon Plasmas for Material Processing
• Periodical title: プラズマ・核融合学会誌
• No. or year of volume/issue: 75(7)
• Volume: 75(7)
• Pages: 779-784
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: TOYODA,Hirotaka; SUGAI,Hideo
• Subject Heading: fluorocarbon gas; dissociative ionization cross section; radical production cross section; surface reaction
• Note (General): 著者所属: 名古屋大学大学院工学研究科; Affiliation: Graduate School of Engineering, Nagoya University
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10453666; https://dl.ndl.go.jp/pid/10453666
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-23
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10388839; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388839
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: Cross sections of electron-impact dissociative ionization and neutral radical production from fluorocarbon molecules or neutral radicals are reviewed....