プラズマCVD法による高品質ダイヤモンドの合成

• 資料種別: 記事
• タイトル: プラズマCVD法による高品質ダイヤモンドの合成
• 著者・編者: 八田,章光; 住友,卓; 平木,昭夫; 伊藤,利道
• 出版事項: 日本 : プラズマ・核融合学会
• 出版年月日等: 2000-09-25
• 出版年（W3CDTF）: 2000-09-25
• 並列タイトル等: Synthesis of High Quality Diamond by Plasma Enhanced CVD Methods
• タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 76(9)
• 掲載巻: 76(9)
• 掲載ページ: 833-841
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: HATTA,Akimitsu; SUMITOMO,Taku; HIRAKI,Akio; ITO,Toshimichi
• 件名標目: plasma CVD; diamond; thin film; synthetic diamond; microwave
• 一般注記: 著者所属: 大阪大学大学院工学研究科電気工学; Affiliation: Department of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi University of Technology; Affiliation: Department of Electrical Engineering, Osaka University; 著者所属: 高知工科大学電子・光システム工学科
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10454106; https://dl.ndl.go.jp/pid/10454106
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10388853; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388853
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: Diamond film synthesis by plasma Chemical Vapor Deposition (CVD) methods has been succeeded about 20 years ago. In industry, however, the CVD diamond ...