プラズマCVD法による高品質ダイヤモンドの合成

• Material Type: 記事
• Title: プラズマCVD法による高品質ダイヤモンドの合成
• Author/Editor: 八田,章光; 住友,卓; 平木,昭夫; 伊藤,利道
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : プラズマ・核融合学会
• Publication Date: 2000-09-25
• Publication Date (W3CDTF): 2000-09-25
• Alternative Title: Synthesis of High Quality Diamond by Plasma Enhanced CVD Methods
• Periodical title: プラズマ・核融合学会誌
• No. or year of volume/issue: 76(9)
• Volume: 76(9)
• Pages: 833-841
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: HATTA,Akimitsu; SUMITOMO,Taku; HIRAKI,Akio; ITO,Toshimichi
• Subject Heading: plasma CVD; diamond; thin film; synthetic diamond; microwave
• Note (General): 著者所属: 大阪大学大学院工学研究科電気工学; Affiliation: Department of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi University of Technology; Affiliation: Department of Electrical Engineering, Osaka University; 著者所属: 高知工科大学電子・光システム工学科
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10454106; https://dl.ndl.go.jp/pid/10454106
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-23
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10388853; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388853
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: Diamond film synthesis by plasma Chemical Vapor Deposition (CVD) methods has been succeeded about 20 years ago. In industry, however, the CVD diamond ...