Observation of the Electric Field Structure in the Sheath of Electronegative Plasmas by Laser-Induced Fluorescence-Dip Spectroscopy

• 資料種別: 記事
• タイトル: Observation of the Electric Field Structure in the Sheath of Electronegative Plasmas by Laser-Induced Fluorescence-Dip Spectroscopy
• 著者・編者: 滝澤,一樹; 佐々木,浩一
• 出版事項: 日本 : プラズマ・核融合学会
• 出版年月日等: 2004-01-25
• 出版年（W3CDTF）: 2004-01-25
• タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 80(1)
• 掲載巻: 80(1)
• 掲載ページ: 3-4
• 本文の言語コード: ENG
• 著者別名: TAKIZAWA,Kazuki; SASAKI,Koichi
• 件名標目: sheath; electric field; electronegative plasmas; laser-induced fluorescence-dip spectroscopy
• 一般注記: 著者所属: Department of Electronics, Nagoya University
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10455298; https://dl.ndl.go.jp/pid/10455298
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10388874; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388874
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: We have measured the distribution of the electric field in the sheath formed between electronegative Ar/SF_6 plasmas and a biased electrode by laser-i...