4.プロセスプラズマ中の微粒子の凝集と輸送(<小特集>「プラズマと微粒子」研究の諸分野における進展)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 4.プロセスプラズマ中の微粒子の凝集と輸送(<小特集>「プラズマと微粒子」研究の諸分野における進展)
• 著者・編者: 古閑,一憲; 内田,儀一郎; 白谷,正治; 布村,正太; 渡辺,征夫
• 出版事項: 日本 : プラズマ・核融合学会
• 出版年月日等: 2011-02-25
• 出版年（W3CDTF）: 2011-02-25
• 並列タイトル等: 4. Coagulation and Transport of Fine Particles in Processing Plasmas(<Special Topic Article>Advances in Various Fields of "Plasma and Dust Particles")
• タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 87(2)
• 掲載巻: 87(2)
• 掲載ページ: 99-104
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: KOGA,Kazunori; UCHIDA,Giichiro; SHIRATANI,Masaharu; NUNOMURA,Shota; WATANABE,Yukio
• 件名標目: plasma CVD; reactive plasmas; fine particle plasmas; nano-particles; coagulation; rapid transport; nanotechnology; nanosystem; nanoblock
• 一般注記: 著者所属: 九州大学; 著者所属: 産業技術総合研究所
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10458058; https://dl.ndl.go.jp/pid/10458058
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10388960; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388960
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: 反応性プラズマを用いるプラズマプロセスでは,気相中で微粒子が発生することが多い.近年,この微粒子を多階層のナノシステムの機能性ナノ部品として使用するボトムアップ型のナノテクノロジーへの展開が盛んに行われている.本章では,この展開に重要な部分帯電した微粒子群の凝集と輸送についての最近の研究成果を紹介す...