4.プロセスプラズマ中の微粒子の凝集と輸送(<小特集>「プラズマと微粒子」研究の諸分野における進展)

• Material Type: 記事
• Title: 4.プロセスプラズマ中の微粒子の凝集と輸送(<小特集>「プラズマと微粒子」研究の諸分野における進展)
• Author/Editor: 古閑,一憲; 内田,儀一郎; 白谷,正治; 布村,正太; 渡辺,征夫
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : プラズマ・核融合学会
• Publication Date: 2011-02-25
• Publication Date (W3CDTF): 2011-02-25
• Alternative Title: 4. Coagulation and Transport of Fine Particles in Processing Plasmas(<Special Topic Article>Advances in Various Fields of "Plasma and Dust Particles")
• Periodical title: プラズマ・核融合学会誌
• No. or year of volume/issue: 87(2)
• Volume: 87(2)
• Pages: 99-104
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: KOGA,Kazunori; UCHIDA,Giichiro; SHIRATANI,Masaharu; NUNOMURA,Shota; WATANABE,Yukio
• Subject Heading: plasma CVD; reactive plasmas; fine particle plasmas; nano-particles; coagulation; rapid transport; nanotechnology; nanosystem; nanoblock
• Note (General): 著者所属: 九州大学; 著者所属: 産業技術総合研究所
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10458058; https://dl.ndl.go.jp/pid/10458058
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-23
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10388960; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388960
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: 反応性プラズマを用いるプラズマプロセスでは,気相中で微粒子が発生することが多い.近年,この微粒子を多階層のナノシステムの機能性ナノ部品として使用するボトムアップ型のナノテクノロジーへの展開が盛んに行われている.本章では,この展開に重要な部分帯電した微粒子群の凝集と輸送についての最近の研究成果を紹介す...