オージェ電子分光法による合金蒸着膜の定量分析

• 資料種別: 記事
• タイトル: オージェ電子分光法による合金蒸着膜の定量分析
• 著者・編者: 岡島,義昭; 宇佐美,勝久
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 1981-11-05
• 出版年（W3CDTF）: 1981-11-05
• 並列タイトル等: Quantitative analysis of vacuum deposited alloy film by Auger electron spectroscopy.
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 30(11)
• 掲載巻: 30(11)
• 掲載ページ: 691-696
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: OKAJIMA,Yoshiaki; USAMI,Katsuhisa
• 件名標目: Auger electron spectroscopy; quantitative depth profiles of alloy films; Ni-Al, Ni-Cr and Ni-Cr-Au alloy films; elemental sensitivity
• 一般注記: 著者所属: 著者所属: (株)日立製作所日立研究所; Affiliation: Affiliation: Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd.
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10889585; https://dl.ndl.go.jp/pid/10889585
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399327; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399327
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: 鏡面にされたケイ素上に蒸着された金属薄膜の深さ方向の分析から,ケイ素に対する元素の相対感度を求め,合金蒸着膜を定量する方法について検討した.低エネルギーのピークはアルゴンイオン照射により,ピーク強度が減少するが, 200ev以上のピークにはイオン照射の影響は現れない.そこで,ケイ素のKLLピーク(1...