オージェ電子分光法による合金蒸着膜の定量分析

• Material Type: 記事
• Title: オージェ電子分光法による合金蒸着膜の定量分析
• Author/Editor: 岡島,義昭; 宇佐美,勝久
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1981-11-05
• Publication Date (W3CDTF): 1981-11-05
• Alternative Title: Quantitative analysis of vacuum deposited alloy film by Auger electron spectroscopy.
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 30(11)
• Volume: 30(11)
• Pages: 691-696
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: OKAJIMA,Yoshiaki; USAMI,Katsuhisa
• Subject Heading: Auger electron spectroscopy; quantitative depth profiles of alloy films; Ni-Al, Ni-Cr and Ni-Cr-Au alloy films; elemental sensitivity
• Note (General): 著者所属: 著者所属: (株)日立製作所日立研究所; Affiliation: Affiliation: Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd.
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10889585; https://dl.ndl.go.jp/pid/10889585
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399327; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399327
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: 鏡面にされたケイ素上に蒸着された金属薄膜の深さ方向の分析から,ケイ素に対する元素の相対感度を求め,合金蒸着膜を定量する方法について検討した.低エネルギーのピークはアルゴンイオン照射により,ピーク強度が減少するが, 200ev以上のピークにはイオン照射の影響は現れない.そこで,ケイ素のKLLピーク(1...