同位体希釈二次イオン質量分析法による半導体材料中のホウ素,ニッケル及びモリブデンの定量

• 資料種別: 記事
• タイトル: 同位体希釈二次イオン質量分析法による半導体材料中のホウ素,ニッケル及びモリブデンの定量
• 著者・編者: 川島,泉; 藤永,清久; 本間,中八郎
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 1987-04-05
• 出版年（W3CDTF）: 1987-04-05
• 並列タイトル等: Determination of B, Ni and Mo in semiconductor materials by isotope dilution SIMS.
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 36(4)
• 掲載巻: 36(4)
• 掲載ページ: 223-227
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: KAWASHIMA,Izumi; FUJINAGA,Kiyohisa; HONMA,Nakahachiro
• 件名標目: B; Ni; Mo; semiconductor materials; isotope dilution-SIMS
• 一般注記: 著者所属: 日本電信電話(株)電気通信研究所; Affiliation: NTT Electrical Communication Laboratories
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10891516; https://dl.ndl.go.jp/pid/10891516
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399392; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399392
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: SIMSを用いた同位体希釈法による微量元素の分析方法を検討した.試料溶液にスパイクを添加した後,妨害成分を分離,除去する.この溶液を5μlまで濃縮してSIMS試料台へ滴下,乾燥させる.乾燥残留物試料をSIMSで分析し,測定した同位体比から目的元素を定量する方法である.10^<-9>〜10^<-6>g...