レーザーマイクロプローブ質量分析法による深さ方向分析についての検討

• 資料種別: 記事
• タイトル: レーザーマイクロプローブ質量分析法による深さ方向分析についての検討
• 著者・編者: 横沢,浩樹; 菊地,正; 古谷,圭一; 安藤,真悟; 星野,清
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 1987-09-05
• 出版年（W3CDTF）: 1987-09-05
• 並列タイトル等: Investigation of depth analysis by laser microprobe mass analysis.
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 36(9)
• 掲載巻: 36(9)
• 掲載ページ: 566-571
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: YOKOZAWA,Hiroki; KIKUCHI,Tadashi; FURUYA,Keiichi; ANDO,Shingo; HOSHINO,Kiyoshi
• 件名標目: depth profile; laser microprobe mass analysis; laser crater analyzed by SEM, SIMS and AES; metal deposited plate made of Au, Ni, Cu and Ti on a glass plate; morphological analysis
• 一般注記: 著者所属: 東京理科大学理学部応用化学科; 著者所属: (株)日電アネルバ; Affiliation: Department of Applied Chemistry, Faculty of Science, Science University of Tokyo; Affiliation: ANELVA Corporation
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10891635; https://dl.ndl.go.jp/pid/10891635
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399397; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399397
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: 高分解能,高感度でマイクロプロ-ブ分析が可能であるレーザーマイクロプローブ質量分析法(LAMMA)の深さ方向の分析特性をガラス基盤上にAu,Ni,Cu,Tiを既知厚さで蒸着した層状試料を用いて検討した.3段階のレーザー強度にて各々複数回の繰り返しレーザー照射を行い,質量スペクトルを測定すると共に,更...