レーザーマイクロプローブ質量分析法による深さ方向分析についての検討

• Material Type: 記事
• Title: レーザーマイクロプローブ質量分析法による深さ方向分析についての検討
• Author/Editor: 横沢,浩樹; 菊地,正; 古谷,圭一; 安藤,真悟; 星野,清
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1987-09-05
• Publication Date (W3CDTF): 1987-09-05
• Alternative Title: Investigation of depth analysis by laser microprobe mass analysis.
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 36(9)
• Volume: 36(9)
• Pages: 566-571
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: YOKOZAWA,Hiroki; KIKUCHI,Tadashi; FURUYA,Keiichi; ANDO,Shingo; HOSHINO,Kiyoshi
• Subject Heading: depth profile; laser microprobe mass analysis; laser crater analyzed by SEM, SIMS and AES; metal deposited plate made of Au, Ni, Cu and Ti on a glass plate; morphological analysis
• Note (General): 著者所属: 東京理科大学理学部応用化学科; 著者所属: (株)日電アネルバ; Affiliation: Department of Applied Chemistry, Faculty of Science, Science University of Tokyo; Affiliation: ANELVA Corporation
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10891635; https://dl.ndl.go.jp/pid/10891635
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399397; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399397
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: 高分解能,高感度でマイクロプロ-ブ分析が可能であるレーザーマイクロプローブ質量分析法(LAMMA)の深さ方向の分析特性をガラス基盤上にAu,Ni,Cu,Tiを既知厚さで蒸着した層状試料を用いて検討した.3段階のレーザー強度にて各々複数回の繰り返しレーザー照射を行い,質量スペクトルを測定すると共に,更...