金属-チタン酸化物によるガス状水素化物の検出(<特集>センサー)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 金属-チタン酸化物によるガス状水素化物の検出(<特集>センサー)
• 著者・編者: 戸田,敬
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 1990-11-05
• 出版年（W3CDTF）: 1990-11-05
• 並列タイトル等: Detection of gaseous hydrides by metal-titanium oxide gas sensors
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 39(11)
• 掲載巻: 39(11)
• 掲載ページ: 611-615
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: TODA,Kei
• 件名標目: gas sensor for hydrogen or gaseous hydride; Shottkey diode; gold-titanium oxide; palladium-titanium oxide; thin film technology
• 一般注記: 著者所属: (株)エステック; Affiliation: STEC Inc.
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10892484; https://dl.ndl.go.jp/pid/10892484
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399435; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399435
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: シリコン基板上に金属-チタン酸化物から成るショットキーダイオードのガスセンサーを作製した.これは薄膜技術により製作され, かつ温調部を素子に内蔵しており, 量産性に優れている.最適温度は150〜200℃であった.感応膜として金を用いた場合は, 半導体プロセスに多く用いられるアルシン, ホスフィンなど...