金属-チタン酸化物によるガス状水素化物の検出(<特集>センサー)

• Material Type: 記事
• Title: 金属-チタン酸化物によるガス状水素化物の検出(<特集>センサー)
• Author/Editor: 戸田,敬
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1990-11-05
• Publication Date (W3CDTF): 1990-11-05
• Alternative Title: Detection of gaseous hydrides by metal-titanium oxide gas sensors
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 39(11)
• Volume: 39(11)
• Pages: 611-615
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: TODA,Kei
• Subject Heading: gas sensor for hydrogen or gaseous hydride; Shottkey diode; gold-titanium oxide; palladium-titanium oxide; thin film technology
• Note (General): 著者所属: (株)エステック; Affiliation: STEC Inc.
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10892484; https://dl.ndl.go.jp/pid/10892484
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399435; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399435
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: シリコン基板上に金属-チタン酸化物から成るショットキーダイオードのガスセンサーを作製した.これは薄膜技術により製作され, かつ温調部を素子に内蔵しており, 量産性に優れている.最適温度は150〜200℃であった.感応膜として金を用いた場合は, 半導体プロセスに多く用いられるアルシン, ホスフィンなど...