二次イオン質量分析法による多層薄膜界面の評価におけるCsX^+二次イオン検出の有効性

• 資料種別: 記事
• タイトル: 二次イオン質量分析法による多層薄膜界面の評価におけるCsX^+二次イオン検出の有効性
• 著者・編者: 林,泰夫; 松本,潔
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 1991-04-05
• 出版年（W3CDTF）: 1991-04-05
• 並列タイトル等: Effectiveness of CsX^+ secondary ions in SIMS analysis of multilayer interface
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 40(4)
• 掲載巻: 40(4)
• 掲載ページ: 159-162
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: HAYASHI,Yasuo; MATSUMOTO,Kiyoshi
• 件名標目: SIMS depth profile analysis; oxide; metal interface; CsX^+ cluster ion; matrix effect
• 一般注記: 著者所属: 著者所属: 旭硝子(株)中央研究所; Affiliation: Affiliation: Research Center, Asahi Glass Co., Ltd.
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10892605; https://dl.ndl.go.jp/pid/10892605
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399440; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399440
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: 多層薄膜の界面における元素の相互拡散を精密に評価する手法として, SIMSの適用を試みた.従来, SIMSによる界面分析では界面で二次イオンの生成効率が変化することに基づく特異な現象が認められるために, 特殊な場合を除き精密に界面を評価することは困難であった.本稿では, Cs^+一次イオンビームを用...