二次イオン質量分析法による多層薄膜界面の評価におけるCsX^+二次イオン検出の有効性

• Material Type: 記事
• Title: 二次イオン質量分析法による多層薄膜界面の評価におけるCsX^+二次イオン検出の有効性
• Author/Editor: 林,泰夫; 松本,潔
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1991-04-05
• Publication Date (W3CDTF): 1991-04-05
• Alternative Title: Effectiveness of CsX^+ secondary ions in SIMS analysis of multilayer interface
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 40(4)
• Volume: 40(4)
• Pages: 159-162
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: HAYASHI,Yasuo; MATSUMOTO,Kiyoshi
• Subject Heading: SIMS depth profile analysis; oxide; metal interface; CsX^+ cluster ion; matrix effect
• Note (General): 著者所属: 著者所属: 旭硝子(株)中央研究所; Affiliation: Affiliation: Research Center, Asahi Glass Co., Ltd.
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10892605; https://dl.ndl.go.jp/pid/10892605
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399440; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399440
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: 多層薄膜の界面における元素の相互拡散を精密に評価する手法として, SIMSの適用を試みた.従来, SIMSによる界面分析では界面で二次イオンの生成効率が変化することに基づく特異な現象が認められるために, 特殊な場合を除き精密に界面を評価することは困難であった.本稿では, Cs^+一次イオンビームを用...