X線光電子分光法におけるC1sスペクトル波形解析によるダイヤモンド薄膜の評価

• 資料種別: 記事
• タイトル: X線光電子分光法におけるC1sスペクトル波形解析によるダイヤモンド薄膜の評価
• 著者・編者: 飯島,善時; 平岡,賢三
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 1993-03-05
• 出版年（W3CDTF）: 1993-03-05
• 並列タイトル等: Diamond film characterization by analyzing C 1s peak shapes with X-ray photoelectron spectroscopy
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 42(3)
• 掲載巻: 42(3)
• 掲載ページ: 133-140
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: IIJIMA,Yoshitoki; HIRAOKA,Kenzo
• 件名標目: X-ray photoelectron spectroscopy; diamond film; peak shape; C 1s spectrum
• 一般注記: 著者所属: 日本電子(株)電子光学機器技術本部応用研究センター; 著者所属: 山梨大学工学部化学生物工学科; Affiliation: Application and Research Center Electron Optics Division, JEOL Ltd.; Affiliation: Faculty of Engineering, Yamanashi University
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10893043; https://dl.ndl.go.jp/pid/10893043
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399463; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399463
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: X線光電子分光法(XPS)を用いて, C1sスペクトルの形状解析より, ダイヤモンド薄膜の解析評価を試みた.その結果C1sスペクトルの半値幅, ピークの対称性の解析より, XPSがダイヤモンド薄膜の評価, 及び膜の構造解析に有効な分析法であることを明らかにした.Characterization of...