X線光電子分光法におけるC1sスペクトル波形解析によるダイヤモンド薄膜の評価

• Material Type: 記事
• Title: X線光電子分光法におけるC1sスペクトル波形解析によるダイヤモンド薄膜の評価
• Author/Editor: 飯島,善時; 平岡,賢三
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1993-03-05
• Publication Date (W3CDTF): 1993-03-05
• Alternative Title: Diamond film characterization by analyzing C 1s peak shapes with X-ray photoelectron spectroscopy
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 42(3)
• Volume: 42(3)
• Pages: 133-140
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: IIJIMA,Yoshitoki; HIRAOKA,Kenzo
• Subject Heading: X-ray photoelectron spectroscopy; diamond film; peak shape; C 1s spectrum
• Note (General): 著者所属: 日本電子(株)電子光学機器技術本部応用研究センター; 著者所属: 山梨大学工学部化学生物工学科; Affiliation: Application and Research Center Electron Optics Division, JEOL Ltd.; Affiliation: Faculty of Engineering, Yamanashi University
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10893043; https://dl.ndl.go.jp/pid/10893043
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399463; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399463
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: X線光電子分光法(XPS)を用いて, C1sスペクトルの形状解析より, ダイヤモンド薄膜の解析評価を試みた.その結果C1sスペクトルの半値幅, ピークの対称性の解析より, XPSがダイヤモンド薄膜の評価, 及び膜の構造解析に有効な分析法であることを明らかにした.Characterization of...