顕微フーリエ変換赤外分光法における膜厚調整による干渉スペクトル除去法

• 資料種別: 記事
• タイトル: 顕微フーリエ変換赤外分光法における膜厚調整による干渉スペクトル除去法
• 著者・編者: 宮川,雅恵
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 1994-01-05
• 出版年（W3CDTF）: 1994-01-05
• 並列タイトル等: Method for removing interference spectra in FT-IR microspectroscopy
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 43(1)
• 掲載巻: 43(1)
• 掲載ページ: 57-60
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: MIYAKAWA,Masae
• 件名標目: FT-IR microspectroscopy; interference spectra; liquid paraffin; KBr crystal; regulation of thickness
• 一般注記: 著者所属: 日立計測エンジニアリング(株)テクノリサーチセンタ; Affiliation: Techno Research Laboratory, Hitachi Instruments Engineering Co., Ltd.
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10893254; https://dl.ndl.go.jp/pid/10893254
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399473; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399473
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: 顕微FT-IR法により薄膜試料を測定する場合, 試料本来のスペクトルに干渉スペクトルが重畳し, 解析が困難となる問題がある.本報告では, 顕微反射法において発生する干渉スペクトルの発生要因の一つである試料の膜厚条件に着目し, 干渉スペクトルの重畳を除去する非破壊方法を検討した.シリコン基板上のポリス...