顕微フーリエ変換赤外分光法における膜厚調整による干渉スペクトル除去法

• Material Type: 記事
• Title: 顕微フーリエ変換赤外分光法における膜厚調整による干渉スペクトル除去法
• Author/Editor: 宮川,雅恵
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1994-01-05
• Publication Date (W3CDTF): 1994-01-05
• Alternative Title: Method for removing interference spectra in FT-IR microspectroscopy
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 43(1)
• Volume: 43(1)
• Pages: 57-60
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: MIYAKAWA,Masae
• Subject Heading: FT-IR microspectroscopy; interference spectra; liquid paraffin; KBr crystal; regulation of thickness
• Note (General): 著者所属: 日立計測エンジニアリング(株)テクノリサーチセンタ; Affiliation: Techno Research Laboratory, Hitachi Instruments Engineering Co., Ltd.
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10893254; https://dl.ndl.go.jp/pid/10893254
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399473; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399473
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: 顕微FT-IR法により薄膜試料を測定する場合, 試料本来のスペクトルに干渉スペクトルが重畳し, 解析が困難となる問題がある.本報告では, 顕微反射法において発生する干渉スペクトルの発生要因の一つである試料の膜厚条件に着目し, 干渉スペクトルの重畳を除去する非破壊方法を検討した.シリコン基板上のポリス...