イオンクロマトグラフィーによるクリーンルーム中の微量アンモニウム及びアルカリ金属イオンの定量

• 資料種別: 記事
• タイトル: イオンクロマトグラフィーによるクリーンルーム中の微量アンモニウム及びアルカリ金属イオンの定量
• 著者・編者: 橋本,芳美; 岡田,章
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 1994-01-05
• 出版年（W3CDTF）: 1994-01-05
• 並列タイトル等: Determination of trace ammonium and alkali metal ions in a clean room by ion chromatography.
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 43(1)
• 掲載巻: 43(1)
• 掲載ページ: 89-92
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: HASHIMOTO,Yoshimi; OKADA,Akira
• 件名標目: ion chromatography; clean room environment; monovalent cations
• 一般注記: 著者所属: 著者所属: (株)東芝研究開発センター環境技術研究所; Affiliation: Affiliation: Research and Development Center, Toshida Corporation
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10893261; https://dl.ndl.go.jp/pid/10893261
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399473; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399473
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: 超LSI製造クリーンルーム内のアンモニウム及びアルカリ金属イオンのイオンクロマトグラフィーによる同時分析を検討した.バックグラウンドの低減や高感度化のため, 溶離液除去システム用再生液及び溶離液の流量を検討した.その結果, 再生液には40mM水酸化テトラメチルアンモニウムで流量10ml/min, 溶...