イオンクロマトグラフィーによるクリーンルーム中の微量アンモニウム及びアルカリ金属イオンの定量

• Material Type: 記事
• Title: イオンクロマトグラフィーによるクリーンルーム中の微量アンモニウム及びアルカリ金属イオンの定量
• Author/Editor: 橋本,芳美; 岡田,章
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1994-01-05
• Publication Date (W3CDTF): 1994-01-05
• Alternative Title: Determination of trace ammonium and alkali metal ions in a clean room by ion chromatography.
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 43(1)
• Volume: 43(1)
• Pages: 89-92
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: HASHIMOTO,Yoshimi; OKADA,Akira
• Subject Heading: ion chromatography; clean room environment; monovalent cations
• Note (General): 著者所属: 著者所属: (株)東芝研究開発センター環境技術研究所; Affiliation: Affiliation: Research and Development Center, Toshida Corporation
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10893261; https://dl.ndl.go.jp/pid/10893261
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399473; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399473
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: 超LSI製造クリーンルーム内のアンモニウム及びアルカリ金属イオンのイオンクロマトグラフィーによる同時分析を検討した.バックグラウンドの低減や高感度化のため, 溶離液除去システム用再生液及び溶離液の流量を検討した.その結果, 再生液には40mM水酸化テトラメチルアンモニウムで流量10ml/min, 溶...