ロジウムK_αX線のコンプトン散乱X線の理論強度を用いる樹脂薄膜の膜厚測定

• 資料種別: 記事
• タイトル: ロジウムK_αX線のコンプトン散乱X線の理論強度を用いる樹脂薄膜の膜厚測定
• 著者・編者: 越智,寛友; 塩田,忠弘; 西埜,誠
• 出版事項: 日本 : 日本分析化学会
• 出版年月日等: 1994-05-05
• 出版年（W3CDTF）: 1994-05-05
• 並列タイトル等: Measurement of polymer film thickness based on throretical calculation of Rh K_α X-ray Compton scattering intensity
• タイトル（掲載誌）: 分析化学
• 巻号年月日等（掲載誌）: 43(5)
• 掲載巻: 43(5)
• 掲載ページ: 371-376
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: OCHI,Hirotomo; SHIOTA,Tadahiro; NISHINO,Makoto
• 件名標目: Rh K_α X-ray Compton scattering; fundamental parameter method; measurement of polymer film thickness; theoretical calculation; polymer film; XRF analysis
• 一般注記: 著者所属: 著者所属: (株)島津製作所; Affiliation: Affiliation: Shimadzu Corp.
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10893330; https://dl.ndl.go.jp/pid/10893330
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399477; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399477
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: Rhターゲットを持つX線管から発生し, 試料によって散乱されるRh K_αコンプトン散乱X線の強度を理論的に計算し, これと測定強度との比較により樹脂薄膜の膜厚を決定する方法について検討した.X線強度の計算は, 測定されるRh K_αコンプトン散乱X線が, ターゲット物質の特性X線であるRh K_α...